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　　自中美貿(mào)易戰(zhàn)以來，半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈亟需國產(chǎn)化與自主可控已成為國內(nèi)企業(yè)共識。近年來，正業(yè)科技基于戰(zhàn)略及業(yè)務(wù)發(fā)展需要，在鋰電池檢測自動化業(yè)務(wù)的基礎(chǔ)上通過橫向發(fā)展，將“X光檢測技術(shù)”應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。在2022廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)峰會上，廣東正業(yè)科技股份有限公司（以下簡稱：正業(yè)科技）半導(dǎo)體事業(yè)部副總經(jīng)理魏承鋒以“半導(dǎo)體檢測設(shè)備國產(chǎn)替代未來可期”為主題，分享了半導(dǎo)體設(shè)備市場現(xiàn)狀，詳細(xì)介紹了正業(yè)科技在芯片缺陷的自動檢測技術(shù)上的最新研發(fā)成果。

　　廣東正業(yè)科技股份有限公司半導(dǎo)體事業(yè)部副總經(jīng)理魏承鋒

　　魏承鋒表示，正業(yè)科技20多年不斷實現(xiàn)國產(chǎn)替代進(jìn)口，2003年進(jìn)入光學(xué)檢測領(lǐng)域，從事PCB檢測儀器及設(shè)備研發(fā)；2010年自主研發(fā)新能源X-RAY檢測設(shè)備；2020年自主研發(fā)半導(dǎo)體X-RAY檢測設(shè)備。他介紹，“無論是PCB行業(yè)，還是鋰電行業(yè)檢測，目前正業(yè)科技已經(jīng)在國內(nèi)市場X-RAY檢測市占率位居前列，特別是國內(nèi)鋰電池、新能源X-RAY市占率應(yīng)該有70%左右。”

　　根據(jù)國際半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會（SEMI）《全球半導(dǎo)體設(shè)備市場統(tǒng)計報告》，2020年、2021年中國大陸設(shè)備銷售額分別是187.2億美元、296.2億美元，增幅達(dá)到58%，2021年占全球市場的28.9%。魏承鋒表示，從這個數(shù)據(jù)上可以看出，目前中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額已經(jīng)占全球第一位，且市場占比也在逐漸上升。不過，他也指出，盡管晶圓制造和封裝測試檢測設(shè)備約占半導(dǎo)體設(shè)備比例20%，但中國大陸相關(guān)的行業(yè)設(shè)備基本被海外公司壟斷，國產(chǎn)替代率不足10%。其中，在晶圓制造環(huán)節(jié)，美國KLA份額一家獨大；在封測環(huán)節(jié)，泰瑞達(dá)、愛德萬已成為檢測設(shè)備雙龍頭。因此，他認(rèn)為，中國必須打造自主可控中國產(chǎn)業(yè)鏈，提升半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化替代率。

　　魏承鋒表示，目前半導(dǎo)體行業(yè)痛點主要體現(xiàn)在成本管控與安全保障上。其中，控制成本核心因素之一是減少浪費，誤判率越低，代表成本越有競爭優(yōu)勢，需要檢測設(shè)備必須降低誤判率，同時如果不良品流入下游，輕則召回，導(dǎo)致巨額損失，重則發(fā)生重大安全事故，需要檢測設(shè)備必須零漏判。為此，針對芯片缺陷的自動檢測技術(shù)取得重大突破，正業(yè)科技自主研發(fā)的半導(dǎo)體分立元件在線全自動X-RAY檢測設(shè)備為半導(dǎo)體行業(yè)客戶解決了檢測效率的難題。

　　魏承鋒介紹，歷經(jīng)兩年自主研發(fā)，正業(yè)科技行業(yè)首推全自動X射線在線檢測設(shè)備——全自動半導(dǎo)體X-RAY芯片缺陷檢測設(shè)備，可實現(xiàn)0%的漏判率、3%的誤判率。對比國內(nèi)外同類型的設(shè)備，他表示，正業(yè)科技芯片缺陷檢測設(shè)備不僅實現(xiàn)全自動在線檢，無需預(yù)前抽檢，避免了有些產(chǎn)品通過抽檢方式有“漏網(wǎng)之魚”，而國外多是半自動檢設(shè)備，且售價高達(dá)100萬美元，而正業(yè)科技設(shè)備則僅需40萬美元。

　　他還介紹，正業(yè)科技不拆帶全盤掃描X-RAY全自動檢測設(shè)備，可以檢測線性壞品、金銅線互混、腳型壞品、球型壞品、異物壞品、Die走位/多余Die壞品、斷頸/頸部受損壞品，不需人工目視檢測，實現(xiàn)零漏檢、極低誤檢。同時，這款設(shè)備新增異物和膠水厚度自動檢測，實現(xiàn)在線全檢，產(chǎn)能明顯提高。

　　“實際上，正業(yè)科技X-RAY全自動檢測設(shè)備不僅自動化更高，效率上也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于國外同類型的設(shè)備，且僅需一人就能操控管理七八臺設(shè)備。因為通過機(jī)器AGV小車全自動上料跟下料，而過程中又是機(jī)器算法自動地全檢識別。” 魏承鋒表示，在設(shè)備漏檢率與誤判率上，人工檢測或半自動檢測的方式，都需要人工介入，但人總會疲勞，進(jìn)而會造成漏檢。

　　魏承鋒指出，全自動在線檢的好處主要體現(xiàn)在：一是實現(xiàn)零漏判、低誤檢；二是生產(chǎn)效率大大提升；三是如果有一定產(chǎn)量規(guī)模的生產(chǎn)，整體設(shè)備投入是降低的。同時，他也介紹，正業(yè)科技不斷拓展X光檢測技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用，也開發(fā)了手動/半自動半導(dǎo)體X-RAY檢測設(shè)備、半導(dǎo)體智能點料機(jī)。

　　2022廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)峰會錄播

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